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扫描电子显微镜原理探究

来源:义航常识网

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种以电子束来替代传统光学镜头成像的高分辨率显微镜,是材料科学、物理学、生物学等领域中必不可少的研究工具。

SEM利用电子束对样品表面进行扫描,并探测由样品表面反射而来的一些信号(如电子、X射线、次级电子、反冲离子等),通过对这些信号的分析,最终形成高分辨率的样品表面图像。

SEM的原理可简单概括为:电子枪向样品表面发射电子束,样品表面发生电子与原子的作用,产生次级电子、X射线、反冲离子等信号,这些信号都具有一定的表征信息,并被探测器收集、放大、处理、还原为信号图像。

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